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关于干式真空泵的整理介绍

2019/6/26    来源:    作者:佚名  浏览次数:557

干式真空泵主要应用于半导体工业、化工和薄膜工业。国外干泵市场正处于蓬勃发展阶段。例如,在日本,半导体工业用干式真空泵取代了油密封机械泵,而在欧洲和美国,超过45%的半导体工业用干式真空泵取代了油密封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。

XD系列旋片式真空泵

1、干式真空泵的介绍及原理

此为立式双螺杆干式真空泵,它的吸气和排气原理和大多数是一样的,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空更高,而消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。最优化的螺杆外形设计使功率消耗降到最低,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。

2、独特的冷却方式很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死,另外一个原因是由于长期运转,转子会由于热胀冷缩而发生形变,造成泵的卡死。干式真空泵的冷却方式:目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。

为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。

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